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調壓閥
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化學調壓閥可以控制因脈動等引起一次端壓力的不安定,並安定地供給二次端。
另,因流出孔附於後方,故可控制二次端之流量。
壓力、流量的調整有手動操作型及氣動操作型兩種。
特長
因於接液部中使用了耐蝕性最優異的氟化樹脂之故,氣體透過性強的液體自不待言,有機溶劑及其他,可廣泛使用之安全性、信賴性最高之產品。
彈簧係使用本公司獨有之彈簧,耐蝕性極為優異。
因應尺寸、規格、用途,具有可充份選擇的多樣性。

手動型
FCRM型 (化學調壓閥)
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型號/規格
特長
係純水、藥液用之定壓控制閥。
抑制一次端之壓力變動,控制二次端壓力於一定。
以手動操作旋鈕來設定二次端壓力之手動操作型。

FCR-25A-HP型 (化學調壓閥)
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型號/規格
特長
期待已久的化學調壓閥25A尺寸上場了。
可對應因晶圓之大口徑化所需大流量之控制。
因係高耐壓,故可對應各式各樣的規格及用途。

MCR型 (迷你化學調壓閥)
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型號/規格
特長
係純水、藥液用之小型減壓控制閥。
以手動操作旋鈕來設定二次端壓力之手動操作型。
二次端壓力之調整幅度變寛。
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氣動型
GCR-25A-HP型 (化學調壓閥)
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型號/規格
特長
期待已久的化學調壓閥25A尺寸上場了。
可對應因晶圓之大口徑化所需大流量之控制。
因係高耐壓,故可對應各式各樣的規格及用途。

GCRM-HP2型 (高壓規格型)
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型號/規格
特長
與GCRM型標準相較,係將一次端壓力範圍及二次端壓力範圍設定可對應至高壓規格之定壓控制閥。

GMCR-HP型 (高壓規格型)
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型號/規格
特長
係純水、藥液用之小型減壓控制閥。
可設定二次端壓力至高壓之氣動型。
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外附流出孔
外附流出孔
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概要
係純水、藥液用定壓控制閥用之外附流出孔
裝設外附流出孔之後,二次端流量可維持固定。 (唯,二次端負荷有變動時,請使用CVR型、GCVRM型)

型號
型號
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